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日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3質(zhì)量流量控制器

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3質(zhì)量流量控制器

所屬分類:HORIBA堀場流量計(jì)
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日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器
日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下徹底實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器特征 
1.具有廣泛的用途
2.追求成本優(yōu)勢、實(shí)現(xiàn)成本降低

日本HORIBA SEC E40MK3

日本HORIBA STEC E40MK3


  日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器規(guī)格

型號 SEC- (質(zhì)量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) E40 E50
適用氣體種類*1 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì) SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號 非通電時(shí) 關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應(yīng)速度 1秒以內(nèi)(T98)
流量精度 ±1% F.S.
直線性 ±0.5% F.S.
反復(fù)性 ±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓 1MPa(G)以下
外部泄漏率 1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度 5?50℃(精度的確保:15?35℃)
流量設(shè)定信號 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號 0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源 +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 1/4SWL 類型
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